Parylene真空镀膜|水汽捕集泵
使用单位:北京大学生命科学院、中国运载火箭研究院、中国空间研究院、中科院遗传与发育所、中科院林业研究所、
南京中国医科大学、山东大学生命科学院、北京大学附属医院、航天部23所、504所、山西太化集团、北京实力源、
深圳森科五金、中国医科院病毒所、中国石化胜利油田、陕西量子高科制药集团、成都现代南光、深圳市龙华东田精密涂覆厂等。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
(提供polycold冷媒及维修)
水汽捕集泵 又称:POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
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